SrTiO3 substratas
apibūdinimas
SrTiO3 monokristalas turi gerą perovskito struktūros medžiagos grotelių struktūrą.Tai puiki substrato medžiaga HTS ir daugumos oksidinių plėvelių epitaksiniam augimui.Jis buvo plačiai naudojamas tiriant aukštos temperatūros superlaidžias plonas plėveles.Jis taip pat plačiai naudojamas specialiuose optiniuose languose ir aukštos kokybės purškimo taikiniuose.
Savybės
Orientacija: (100) +/-0,5 laipsnio
Krašto orientavimo indikacija: <001> +/-2 laipsniai už papildomą mokestį
Poliravimas: vienos pusės EPI poliruotas CMP technologijomis su mažesniu paviršiniu grotelių pažeidimu.
Pakuotė: supakuota į 100 klasės plastikinį maišelį 1000 klasės švarioje patalpoje.
| Kristalinė struktūra | Kubinis, a = 3,905 A |
| Augimo metodas | Vernuil |
| Tankis (g/cm).3） | 5.175 |
| Lydymosi temperatūra (℃) | 2080 m |
| Kietumas (Mho) | 6 |
| Šiluminis plėtimasis | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Dielektrinė konstanta | ~ 300 |
| Praradimo tangentas esant 10 GHz | ~5x10-4@ 300K , ~3x10-4@77 tūkst |
| Spalva ir išvaizda | Skaidrus (kartais šiek tiek rudas, atsižvelgiant į atkaitinimo sąlygas). Dvynių nėra |
| Cheminis stabilumas | Netirpi vandenyje |
SrTiO3 substrato apibrėžimas
SrTiO3 substratas reiškia kristalinį substratą, pagamintą iš junginio stroncio titanato (SrTiO3).SrTiO3 yra perovskito medžiaga, turinti kubinę kristalų struktūrą, kuriai būdinga didelė dielektrinė konstanta, didelis terminis stabilumas ir geras grotelių suderinimas su daugeliu kitų medžiagų.
SrTiO3 substratai yra plačiai naudojami plonų plėvelių nusodinimo ir epitaksinio augimo srityse.Kubinė SrTiO3 struktūra leidžia auginti aukštos kokybės plonas plėveles, turinčias puikią kristalinę kokybę ir mažą defektų tankį.Dėl to SrTiO3 substratai yra labai tinkami epitaksinėms plėvelėms ir heterostruktūroms auginti įvairioms reikmėms.
Dėl didelės SrTiO3 dielektrinės konstantos jis tinkamas tokioms reikmėms kaip kondensatoriai, atminties įrenginiai ir feroelektrinės plonos plėvelės.Dėl šiluminio stabilumo jis tinkamas naudoti aukštoje temperatūroje.
Be to, dėl įvairių SrTiO3 savybių, tokių kaip metalinis laidumas žemoje temperatūroje ir galimybė sukelti superlaidžią būseną, jis naudingas kondensuotų medžiagų fizikos tyrimams ir elektroninių bei optoelektroninių prietaisų kūrimui.
Apibendrinant galima pasakyti, kad SrTiO3 substratai yra kristaliniai substratai, pagaminti iš stroncio titanato, kurie dėl didelės dielektrinės konstantos, terminio stabilumo ir gerų grotelių atitikimo savybių dažniausiai naudojami plonasluoksniam nusodinimui, epitaksiniam augimui ir įvairioms elektroninėms bei optoelektroninėms reikmėms.
